
前ASML首席科学家林楠推动中国EUV最新突破
2025年4月29日,据南华早报报道称,国内研究团队成功构建一个以国际竞争参数运行的极紫外 (EUV) 光源平台,突破了国产先进芯片的障碍。该团队来自中国科学院上海光学精密机械研究所,由曾任荷兰ASML公司光源技术负责人的林楠领导,这项成果...
2025年4月29日,据南华早报报道称,国内研究团队成功构建一个以国际竞争参数运行的极紫外 (EUV) 光源平台,突破了国产先进芯片的障碍。该团队来自中国科学院上海光学精密机械研究所,由曾任荷兰ASML公司光源技术负责人的林楠领导,这项成果...