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重大突破!前ASML专家林楠推进中国EUV技术攻坚-DOIT-数据产业媒体与服务平台

重大突破!前ASML专家林楠推进中国EUV技术攻坚

4月29日,由中国科学院上海光机所林楠研究员领衔,成功构建出以国际竞争参数运行的极紫外(EUV)光源平台。这项突破不仅打破了西方在 EUV 核心技术上的垄断,更标志着中国半导体产业正式叩开了7纳米以下先进制程的大门,据悉林楠曾是荷兰ASML...

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