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标签:光阻

业界

光阻原料存在缺陷,台积电下调Q1晶圆产能

张 妮娜 发布于 2019-02-19

近日,台体电(TSMC)芯片晶圆出现质量问题,随即下调了2019年第一季度的营收预期。台积电发现一批有问题的光刻胶材料,其中含有一种化学供应商非正常处理的特定成分,这种处理在光刻胶材料中产生了一种外来聚合物,影响了台积电位于台南的14B厂对于12nm和16nm晶圆产能,受波及晶圆...