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泛林集团:引入空气间隙以减少前道工序中的寄生电容-DOIT-数据产业媒体与服务平台

泛林集团:引入空气间隙以减少前道工序中的寄生电容

减少栅极金属和晶体管的源极/漏极接触之间的寄生电容可以减少器件的开关延迟。减少寄生电容的方法之一是设法降低栅极和源极/漏极之间材料层的有效介电常数,这可以通过在该位置的介电材料中引入空气间隙来实现。这种类型的方式过去已经用于后道工序 (BE...

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战略签约!湘江实验室合作达成,产学研用协同再创新-DOIT-数据产业媒体与服务平台

战略签约!湘江实验室合作达成,产学研用协同再创新

3月23日,中国工程院院士、湘江实验室主任、湖南工商大学党委书记、新华三集团首席数字经济科学家陈晓红一行莅临新华三集团,紫光股份董事长、新华三集团总裁兼首席执行官于英涛等陪同。期间,湘江实验室与紫光股份旗下新华三集团就双方未来合作正式签署战...

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